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（1）導(dǎo)向精度

主要指導(dǎo)軌運(yùn)動軌跡的精確度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有：導(dǎo)軌的幾何精度和接觸精度，導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，導(dǎo)軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導(dǎo)軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

（2）精度保持性

主要由導(dǎo)軌的耐磨性決定。耐磨性與導(dǎo)軌的材料、導(dǎo)軌副的摩擦性質(zhì)、導(dǎo)軌上的壓強(qiáng)及其分布規(guī)律等因素有關(guān)。

（3）剛度

包括導(dǎo)軌自身剛度和接觸剛度。主要取決于導(dǎo)軌的形狀、尺寸與支承件的連接方式及受力狀況等因素。

（4）低速運(yùn)動平穩(wěn)性

動導(dǎo)軌作低速運(yùn)動或微量位移時易產(chǎn)生摩擦自激振動，即爬行現(xiàn)象。爬行會降低定位精度或增大被加工工件表面的粗糙度的值。